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        豆奶视频免费观看在线去除光刻胶的工艺与设备

        返回列表 来源:豆奶视频在线观看 浏览: 发布日期:2019-09-09 10:05【
        文章导读:豆奶视频免费观看在线是一种去除晶圆表面光刻胶的新型干式清洗方式,本文主要介绍在晶圆表面光刻胶去除上使用的豆奶视频免费观看在线工艺和对应使用到的设备。
        晶圆表面光刻胶去除是晶圆制造过程的其中一个环节,是否去除彻底;是否对表面有损伤等因素,都会影响后续的工艺进行,任何一个小缺陷都可能造成晶圆的整片报废。传统去除光刻胶选用的是湿化学方法,随着工艺制程的不断提高,湿化学方法的缺点愈发显现出来,如反应不能精准控制,清洗不彻底,容易引入杂质等。而作为干式方法的晶圆级封装豆奶视频免费观看在线可控性强,一致性好,不仅可以彻底去除光刻胶和其他有机物,而且还可以活化和粗化晶圆表面,提高晶圆表面浸润性。
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        豆奶视频免费观看在线的工作原理:在真空状态下,压力越来越小,分子间间距越来越大,分子间力越来越小,利用高频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的等离子体,然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去,从而达到等离子表面清洁、活化等目的。如图所示:
        真空等离子工作原理
        豆奶视频在线观看用于晶圆表面光刻胶去除的设备是晶圆级封装豆奶视频免费观看在线设备PR240L,可用于晶圆制造中的表面清洁、表面活化、光刻胶去除、植球前清洗等各种工艺。豆奶视频在线观看从2011年开始涉足半导体行业至今已有8年,在光刻胶去除、打线即W/B前清洗和塑封即Molding前活化等工艺方面积累了较为丰富的豆奶视频免费观看在线经验,合作客户接近20家,豆奶视频在线观看正努力成为半导体封装领域的离子表面处理工艺解决方案服务商。豆奶视频免费观看在线过的样品包括:硅晶圆、玻璃基板、陶瓷基板、IC载板、铜引线框架等。
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          1)能有效去除大于3μm的颗粒
          2)不需要高纯水和化学药剂等,同时不需要后续烘干工艺
          3)设备维护简单,只需进行简单的清洗和更换
          4)沿喷嘴线性均衡的超声波使得工件横向清洗性能保持一致
          5)非接触式的清洗方式避免损坏工
          6)闭环系统不会破坏生产车间(洁净室)的气流平衡

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          ‌高效彻底‌:能够深入微纳米级孔隙中,彻底清除难以触及的污染物。

          ‌环保节能‌:无需使用化学溶剂,减少废水废气排放,符合绿色生产要求,且能耗低。

          ‌广泛适用‌:适用于多种材料表面,包括金属、陶瓷、玻璃、塑料等,不会对材料性能产生负面影响。

          ‌工艺可控‌:通过调整工作气体种类、压力、功率等参数,可精确控制清洗过程‌。


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